半导体的生产的全部过程分为前道工艺和后道工艺，其中，前道工艺包括光刻、蚀刻、镀膜等；而后道工艺则以半导体的封装测试为主。

  （1）OCD结构检验测试，例如形状、线）晶圆缺陷性检测，例如晶圆片的光滑度、曲翘度等；

  工艺流程控制贯穿集成电路生产线，可细分为检查、测量和收益控制。工艺流程控制所用的检测设备包括工艺参数管理系统、光刻过程控制管理系统和收益分析软件系统。工艺流程控制管理系统主要对工艺流程参数、光刻设备的稳定性进行仔细的检测，系统设备记录每一类晶体管参数并生成相应的receipt，最后将receipt输入到已调试好的设备中大批量生产芯片。

  前道工艺完成后，进入半导体封装测试的第一站 ：中测（Circuit Probing）, CP搭配使用集成电路测试机和探针台对每一粒芯片进行电压、电流、时序和功能的测量。中测后，质量过关的芯片会进行封装等工艺，最后进入Final Test（FT）。CP和FT使用的测试机无很大差异，统称自动测试设备（ATE）。

  我们估算到2017-2018年，全球半导体检测设备市场规模可达到100亿美元，一种方法是，能够准确的通过 KLA-Tencor目前的经营规模和市占率，推算工艺流程控制的市场规模在60-70亿美元，根据泰瑞达和爱德万的收入规模和市占率，推算ATE的市场规模在40亿美元；另一种方法，根据Gartner 多个方面数据显示，2015年半导体检验测试市场规模约60亿美元，参考半导体设备行业近2-3年累计增速60%左右，可估算全球半导体检测设备市场规模也在100亿美元左右。

  根据SEMI预计，2017年半导体设备市场规模有望达到559亿美元，创下历史上最新的记录，同比增长36%；2018年有望达到600亿美元的规模，同比增长8%。全球半导体设备投资额呈上升趋势。

  根据Gartner、Semi等的统计数据，2015年工艺流程控制的市场规模约为40亿美元，ATE检验测试市场规模约为20亿美元，合计60亿美元，占总体半导体设备行业的18%。而SEMI预计的2018年600亿美元规模，参考2015年检测占比18%，则2018年半导体检验测试市场规模108亿元。

  另外，参考2017年主要半导体检测企业的收入规模和市占率，也可估算半导体检验测试市场规模也超过100亿美元。

  从全球范围看，半导体测试设备处于寡头垄断局面。其中，工艺流程检测设备主要被KLAC垄断，ATE主要被Teradyne 和 Advantest垄断。

  参考2015年Gartner数据，工艺流程检测市场中，KLAC市占率为50%位居第一位，AMAT市占率12%左右位居市场第二，日立的市占率10%左右位居市场第三。

  半导体工艺流程控制检测又可细分为光罩检测、薄膜检测、光学检测、晶圆缺陷检验测试、宏观缺陷检验测试、图像晶圆检测等，其中晶圆缺陷检验测试占比较高。

  KLAC在行业内所处的垄断地位，包括在晶圆缺陷检验测试方面，KLAC占据全球超60%的市场份额。

  ATE供应商产品的优点各不相同。其中，Teradyne在SOC、RF测试设备领域占据绝对市场占有率，爱德万则在Memory IC测试设备领域占据绝对市场占有率，而LTX-Credence在Analog IC测试设备方面保持优势。

  图表9. 2013年半导体检测泰瑞达、爱德万和Xcerra市场占比（%）

  在测试设备细致划分领域，目前国内市场仍主要由美国泰瑞达（Teradyne）、日本爱德万（Advantest）、美国安捷伦（Agilent）、美国科利登（Xcerra）和美国科休（Cohu）等国际有名的公司所占据。目前以长川科技、北京华峰为代表的少数国产测试设备产品已进入国内封测有突出贡献的公司的供应商体系，但市占率很低，有很高的提升空间。

  专注于半导体元器件测试筛选设备和专用智能化检测系统的研制、生产和销售。已推出STS三大系列10多个型号产品，用户群大多分布在在国防项目、民用电子、科研教学等领域。

  成立于2001年4月，主营业务是集成电路测试、包装机械设备，即分选机、编带机的研发、生产和销售。公司规模较小，现有员工47人，其中研发工程师11人，在国内装机2100台，主要客户包括华润集团、华天、日月光、中芯国际等。

  TFT-LCD、OLED平面显示信号测试设备厂商，处于绝对领头羊，产品有模组检测系统、面板检测系统、OLED检测系统、AOI光学检测系统、Touch Panel检测系统和平板显示自动化设备

  精测电子主营平板显示检测系统的研发、生产和销售。公司在国内面板检验测试领域处于龙头地位，是全球唯一进入光、机、电、软、算等的检测设备供应商。在2017年成功突破array 和 cell制程AOI检测设备后，精测电子又一次突破自身局限性进军半导体检验测试领域。

  据Teradyne统计，目前Memory ATE的市场空间约在6-8亿美元，主要被国外厂商占领，其中Advantest占比约43%, Teradyne占比约24%。精测电子涉足半导体检测领域，希望开拓在半导体检验测试市场和实现国产设备的进口替代。

  根据公司公告，公司拟与韩国IT&T及其法人张庆勋共同设立合资公司-武汉精鸿电子技术有限公司，主营半导体测试设备的研发、生产、销售等服务。其中，精测电子出资占比65%，IT&T以知识产权出资占比25%，张庆勋出资占比5%。IT&T为韩国ATE领域的领军企业，企业成立于2006年有超过10年的Memory ATE的研发经验，CEO张庆勋拥有30年ATE领域的研发和管理经验。

  目前，国内的测试设备大多为电源管理，生产存储器检测、集成电路驱动检测和面板检测的厂家较少。精测电子有望借助IT&T在存储器检验测试领域的实力，挺近半导体检验测试领域，提升设备的国产化率。（

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